南方科技大學(xué)定制的CVD系統(tǒng)已完成調(diào)試整裝待發(fā)。
此款CVD系統(tǒng)由河南創(chuàng)合實(shí)驗(yàn)室設(shè)備有限公司設(shè)計(jì)生產(chǎn),由1200度三溫區(qū)管式爐,四路質(zhì)量流量控制器及8C真空泵組合而成。三溫區(qū)管式爐可滿足三個(gè)溫區(qū)獨(dú)立控溫,工作溫度1150度,控溫精度±1℃,溫區(qū)220+440+220mm. 爐管尺寸80*1200mm,最大可放置70mm的樣品基底。四路質(zhì)量流量控制器的量程由100SCCM-2000SCCM可選,可調(diào)可控。此款CVD系統(tǒng)可用于實(shí)驗(yàn)室石墨烯材料制備,納米材料生長等,亦可以單獨(dú)用作管式爐使用。
河南創(chuàng)合實(shí)驗(yàn)室設(shè)備有限公司是一家致力于提供高質(zhì)量實(shí)驗(yàn)電爐的生產(chǎn)廠家,產(chǎn)品包括不僅限于:實(shí)驗(yàn)室箱式爐,馬弗爐,管式爐,CVD系統(tǒng),PECVD成套設(shè)備,井式電爐,RTP管式爐,等離子清洗機(jī),實(shí)驗(yàn)室壓片機(jī)及其相關(guān)模具等,本公司系列產(chǎn)品已經(jīng)過ISO9001:2015質(zhì)量管理體系認(rèn)證,歡迎廣大用戶的咨詢和指導(dǎo)。
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